>>680
システムコールしか考えなかったけど、コマンドをご所望だったのかな……
とりあえず、GNU coreutils の sleep と システムコールの nanosleep を比べてみたよ。
gettimeofday で実行時間を計るのを 100 回やって最小、最大、平均を出してみた。
左から、指定した時間(秒)、sleep と nanosleep の最小-最大,平均(マイクロ秒)

0.001 1561-4585,1828 1049-1100,1088
0.002 2447-3600,2745 2055-2096,2086
0.004 4354-5403,4642 4067-4128,4089
0.005 5414-6482,5586 5057-5101,5095

ideone を使おうとしたけどコードをペーストする方法が分からない。マウスの中ボタンで出来てたのに。